低溫真空泵又叫低溫泵、冷泵、冷凝泵。低溫泵的冷源可以是低溫液體(液氮或液氦),也可以是低溫制冷機。這里介紹制冷機型低溫泵,這種低溫泵的制冷機在兩個溫度級上產生制冷,分別冷卻兩個低溫表面,被抽的氣體就被冷卻在低溫表面上。
制冷機的一級通常工作在50K—70K范圍,它用來冷卻靠外的冷板,這個外部冷板既為更冷的冷板充當防輻射的屏蔽,同時又用來冷卻擋在泵入口處的百葉窗(障板),當水蒸汽碰到障板上時就被冷凍在它上面,這極像液氮冷阱冷凍水蒸氣的情形。
制冷機的二級,即最冷的一級,通常工作在10K—20K之間,用來冷卻靠內的冷板,它冷凍穿過百葉窗的N2、O2、Ar等氣體。不能被這一溫度冷凍的氣體被位于冷板內部的活性炭吸附。