冷凝泵相對其他泵閥來說應該是比較復雜的,下面是關于冷凝泵的故障查找、點檢及再生知識介紹。
4.1真空不良可能產生的原因。
?、僬婵瞻踩y泄露。
?、诶浒灏惭b不正確、劣化、再生不良。
?、矍凹壉贸闅鈺r間過長,使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。
?、苤评錅囟冗_不到20K以下:a1冷凍機制冷能力劣化;b1壓縮機壓縮能力降低(很少發生);c1He氣壓力過低;d1He氣充填壓力過高。
二、冷凝泵的點檢
?、倮鋬鰴C運行是否平穩。
?、隈R達旋轉是否為順時針方向。
?、蹨囟?、真空度是否正常。
?、鼙皿w外側是否有冷凝水存在,否則,需進行再生。
?、軭2蒸汽壓溫度計在室溫狀態(即暴露在大氣中)的值是否在4.7~5.7K間。否則,溫度計可能有問題。
壓縮機點檢
?、貶e氣壓、水流量、水溫、油位是否正常。
?、趬嚎s機運轉是否正常。
1、再生時間
?、俑鶕\轉周期,定期進行再生。
?、谥评淠芰档蜁r(溫度達不到20K以下;真空度差),進行再生。
2、再生種類
?、偻ǔT偕?3~8h。
?、诩彼僭偕?當泵內含有毒性、腐蝕性、可燃性氣體以及大量的O2水時,泵停止后,進行短時間再生。
3、急速再生的實施
?、訇P閉高閥,將加熱N2或室溫N2氣由PurgeGas口導入泵腔,被稀釋的毒性氣體就會通過排氣閥放出。這時,冷板的溫度若達不到77K以上,泵室的壓力就上不去,氣體也就無法釋放出來,而又會被凝縮在冷頭上。
用N2進行沖洗時,最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時,由于易產生真空泄露,所以,有必要對安全閥進行清洗。
?、谟眉訜崽哼M行加熱。但要注意加熱時,溫度不能超過70℃。否則,會損壞冷凝泵。